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Erogati in lingua Inglese

Legenda
Semestre (Sem)
1Primo Semestre
2Secondo Semestre
AInsegnamento Annuale
Attività formative
CAffini o integrative
BCaratterizzanti
Lingua d'erogazione
Insegnamento completamente offerto in lingua italiana
Insegnamento completamente offerto in lingua inglese
--Non definita
Didattica innovativa
I CFU riportati a fianco a questo simbolo indicano la parte dei CFU dell'insegnamento erogati con Didattica Innovativa.
Tali CFU riguardano:
  • Cotutela con mondo esterno
  • Blended Learning & Flipped Classroom
  • Massive Open Online Courses (MOOC)
  • Soft Skills
Dati Insegnamento
Contesto
Anno Accademico 2014/2015
Scuola Scuola di Ingegneria Industriale e dell'Informazione
Corso di Studi (Mag.)(ord. 270) - MI (402) Ingegneria Fisica
Piano di Studio preventivamente approvato FNF - Nanoottica e fotonica
Anno di Corso 2

Scheda Insegnamento
Codice Identificativo 096627
Denominazione Insegnamento MICRO AND NANOFABRICATION
Tipo Insegnamento Monodisciplinare
Crediti Formativi Universitari (CFU) 5.0
Semestre Primo Semestre
Programma sintetico Proprietà strutturali e termodinamica delle superfici. Superfici pulite: fisica delle basse pressioni e sistemi da alto vuoto. Adsorbimento, evaporazione termica, teoria della nucleazione, epitassia. Teoria della crescita cristallina. Crescita epitassiale di semiconduttori. Litografia ottica, fisica dell'esposizione ottica e tecnologie per il miglioramento della risoluzione. Trasferimento del design. Litografia con luce nell'estremo ultravioletto, a raggi X e a fascio elettronico. Tecnologie per litografie alternative.
Settori Scientifico Disciplinari (SSD)
Attività formative Codice SSD Descrizione SSD CFU
B,C
FIS/03
FISICA DELLA MATERIA
5.0

Orario: aggiungi e rimuoviScaglioneDocenteLingua offertaProgramma dettagliato
Da (compreso)A (escluso)
--AZZZZSordan Roman
manifesti v. 3.4.3 / 3.4.3
Area Servizi ICT
25/10/2020